Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре

Представлено исследование кинетики и механизмов плазменного травления AL в хлоре. Процесс травления протекает в кинетическом режиме и имеет первый кинетический порядок по концентрации активных частиц.

Вы можете купить электронную версию издания «Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре». После оплаты (для архивов) оно будет доступно в Личном Кабинете в разделе «Электронные издания». В случае оформления подписки, издание будет доступно по мере поступления от издателя. Формат PDF/HTML. Стоимость — от 90.00 руб.