Кинетика травления GaAs в хлорной плазме

Исследование проведено весовым и спектральным методами. Установлено наличие начального нестационарного участка травления, предположительно обусловленного особенностями удаления полированного слоя. Приведен анализ спектра излучения плазмы в присутствии продуктов травления. Показана возможность контроля кинетики по излучению резонансных линий Ga 403, 3 и 417, 3 им.

Вы можете купить электронную версию издания «Кинетика травления GaAs в хлорной плазме». После оплаты (для архивов) оно будет доступно в Личном Кабинете в разделе «Электронные издания». В случае оформления подписки, издание будет доступно по мере поступления от издателя. Формат PDF/HTML. Стоимость — от 90.00 руб.