ВЧ плазменная модификация поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий

В работе представлены результаты модификации поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий. Исследовалась зависимость результатов ВЧ плазменной модификации поверхности материалов от входных параметров плазмотрона, основных параметров обработки – энергии ионов и плотности ионного тока в СПЗ, а также степени термической неравновесности. Установлено, что плазменная модификация поверхности пленок позволяет улучшить их электрофизические и физико- механические свойства, а также уменьшать неровности их поверхности и увеличивать срок службы покрытий в 2 раза.

Вы можете купить электронную версию издания «ВЧ плазменная модификация поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий». После оплаты (для архивов) оно будет доступно в Личном Кабинете в разделе «Электронные издания». В случае оформления подписки, издание будет доступно по мере поступления от издателя. Формат PDF/HTML. Стоимость — от 90.00 руб.