Фотолитографический метод создания тонкопленочных ВТСП структуры: лабораторный практикум.Фотолитографический метод создания тонкопленочных ВТСП структуры: лабораторный практикум. Даются представления о фотолитографическом методе создания тонкопленочных структур с использованием метода сухого травления. Электронное издание «Фотолитографический метод создания тонкопленочных ВТСП структуры: лабораторный практикум.» (бесплатно). Скачать номера в формате PDF. |