СОСТОЯНИЕ ВНУТРЕННИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ РОСТОВОЙ ЯЧЕЙКИ ПОСЛЕ ПРОЦЕССА ЗОННОЙ СУБЛИМАЦИОННОЙ ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ КРЕМНИЯ

Исследовано состояние внутренних поверхностей ростовой ячейки после зонной сублимационной перекристаллизации кремния. Выявлены типы и характер распределения образующихся дефектов. Анализ результатов исследований позволил оценить степень влияния остаточной газовой среды вакуумной камеры на качество получаемых слоев кремния

Вы можете купить электронную версию издания «СОСТОЯНИЕ ВНУТРЕННИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ РОСТОВОЙ ЯЧЕЙКИ ПОСЛЕ ПРОЦЕССА ЗОННОЙ СУБЛИМАЦИОННОЙ ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ КРЕМНИЯ». После оплаты (для архивов) оно будет доступно в Личном Кабинете в разделе «Электронные издания». В случае оформления подписки, издание будет доступно по мере поступления от издателя. Формат PDF/HTML. Стоимость — от 60.00 руб.