НОВЫЕ ТЕНДЕНЦИИ В ТЕХНОЛОГИИ МЭМС-ДАТЧИКОВ ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЙ В ЖЕСТКИХ ВНЕШНИХ УСЛОВИЯХ

Сенсорные системы на основе технологий МЭМС и НЭМС, способные работать при высоких температурах, в агрессивных средах и/или под воздействием сильной радиации, весьма перспективны для применений в жестких внешних условиях. Они позволяют снизить вес, повысить надежность и уменьшить стоимость изделий в ключевых сегментах рынка, таких как автомобилестроение, авионика, промысловая геофизика и ядерная энергетика. В статье дан обзор последних достижений в области МЭМС- и НЭМС-датчиков для жестких условий с акцентом на материалы и устройства. Особое внимание уделено работе датчиков при высоких температурах. Применительно к таким устройствам рассматриваются широкозонные полупроводниковые материалы для высокотемпературных применений. В качестве новой тенденции в области высокотемпературных применений рассмотрены микрооптоэлектромеханические системы (МОЭМС). Как пример МОЭМС-датчика для жестких условий представлен датчик вибраций

Вы можете купить электронную версию издания «НОВЫЕ ТЕНДЕНЦИИ В ТЕХНОЛОГИИ МЭМС-ДАТЧИКОВ ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЙ В ЖЕСТКИХ ВНЕШНИХ УСЛОВИЯХ». После оплаты (для архивов) оно будет доступно в Личном Кабинете в разделе «Электронные издания». В случае оформления подписки, издание будет доступно по мере поступления от издателя. Формат PDF/HTML. Стоимость — от 150.00 руб.