+7-495-680-99-71
public@akc.ru
+7-495-680-89-87

На главнуюНаписать намКарта сайта

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производственного (in-line) контроля тонкопленочных материалов – основы современных ИМС. Приведены примеры приборов контроля и возможностей их применения для характеризации процессов получения и свойств тонких пленок. Рассмотрены решения технологических задач с помощью in-line методов на примере важнейшего узла ИМС – диэлектрической планаризируемой изоляции между транзисторным уровнем (FEOL) и первым уровнем металлизации (BEOL) микросхем. Проанализирован подход к квалификации технологических процессов/оборудования для создания тонких пленок в производстве, изложены примеры проведения исследований технологической направленности. Показаны необходимость и возможности использования вместе с in-line методами также методов контроля at-line (в лабораториях вне производства) и off-line (в специализированных аналитических организациях). В пособии использованы и пояснены многочисленные англоязычные термины, принятые в технологиях и производстве интегральных микросхем.

Итого: 300.00руб. Купить


Вы можете купить электронную версию издания «Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем». После оплаты (для архивов) оно будет доступно в Личном Кабинете в разделе «Электронные издания». В случае оформления подписки, издание будет доступно по мере поступления от издателя. Формат PDF/HTML. Стоимость — от 300.00 руб.
  • ПодпискаЗдоровье и образование в XXI веке. Электронный научно-образовательный вестник
  • ПодпискаВестник ИРЯиК МГУ. Филология. Культурология. Педагогика. Методика
  • ПодпискаУправление качеством в нефтегазовом комплексе
  • ПодпискаЛичность. Культура. Общество
  • ПодпискаМир безопасности
  • ПодпискаФилософия и общество
  • ПодпискаИсторическая психология и социология истории
  • ПодпискаКондратьевские волны
  • ПодпискаИнформационно-управляющие системы
  • ПодпискаНаука и жизнь
  • ПодпискаВестник детско-юношеского туризма
  • ПодпискаСтудия Антре
  • ПодпискаБудь здоров! - 100 страниц о самом главном
  • ПодпискаЭкологический вестник России
  • ПодпискаКачественная архитектура

14.10.2024Все новости

Издатели зафиксировали двукратный рост стоимости книгопроизводства с 2020 года

По оценкам ростовского издательства «Феникс», рост стоимости книгопроизводства с начала 2024 г. составил порядка 10% в связи с увеличением затрат на сырье.

подробнее »

ПОДПИСКА НА ЖУРНАЛЫ И ГАЗЕТЫ ON-LINE1

Мы используем cookie. Это позволяет нам анализировать взаимодействие посетителей с сайтом и делать его лучше. Продолжая пользоваться сайтом, вы соглашаетесь с использованием файлов cookie.
Подробнее можно ознакомиться на странице политики конфиденциальности и политики обработки персональных данных.

Загрузка...
Загрузка...